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佳能發(fā)售新一代i線步進式光刻機:提升巨大 環(huán)球百事通

2023-03-13 19:44:58來源:中關(guān)村在線  


(資料圖片)

今天,佳能正式官宣,發(fā)布了最新的i線步進式光刻機“FPA-5550iX”,該產(chǎn)品能夠同時實現(xiàn)0.5μm(微米)高解像力與50 x 50mm大視場曝光,該產(chǎn)品可用于全畫幅CMOS、頭戴顯示器等小型顯示設(shè)備的曝光工序、高對比度微型OLED顯示器制造等領(lǐng)域。

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[經(jīng)銷商]京東商城

[產(chǎn)品售價]¥4799元

進入購買

所謂i線也就是光源來自波長365nm的水銀燈,和EUV光刻機使用的13.5nm波長激光等離子體光源區(qū)別明顯。

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