用于先端制程的鉭靶材及環(huán)件，僅有美國、日本的少數(shù)幾家跨國公司能夠生產(chǎn)，如今這個名單中可以加上中國企業(yè)江豐電子。
8月31日，江豐電子(300666.SZ)在投資者互動平臺上表示，公司產(chǎn)品已經(jīng)進入5nm先端工藝，得到了全球一流芯片制造企業(yè)的認可。
據(jù)了解，江豐電子的高純金屬濺射靶材在技術(shù)門檻最高的半導體領域，已具備了一定國際競爭力，公司產(chǎn)品成功打入5nm先端技術(shù)，成為臺積電、中芯國際、SK海力士、聯(lián)華電子等全球知名芯片制造企業(yè)的核心供應商。
值得一提的是，江豐電子的產(chǎn)品研發(fā)與技術(shù)創(chuàng)新能力在同行業(yè)居領先地位。2022年上半年，公司研發(fā)投入5992.72萬元，同比增長32.86%，占營業(yè)收入的5.52%。
得到全球一流芯片制造企業(yè)認可
8月31日，有投資者在互動平臺提問，江豐電子與其他半導體企業(yè)相比，有哪些競爭優(yōu)勢，是否具有一定的稀缺性?
江豐電子回應表示，公司的競爭優(yōu)勢主要集中在：技術(shù)優(yōu)勢，具有國際水平的技術(shù)團隊和持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新;產(chǎn)品優(yōu)勢，擁有穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品質(zhì)量、產(chǎn)品性價比優(yōu)勢和良好的品牌形象;有利的市場地位，擁有優(yōu)質(zhì)的客戶資源和領先的市場份額。產(chǎn)品已經(jīng)進入5nm先端工藝，得到了全球一流芯片制造企業(yè)的認可。
江豐電子主營業(yè)務為超高純金屬材料的濺射靶材以及半導體產(chǎn)業(yè)裝備機臺的關鍵零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，其中超高純?yōu)R射靶材包括鋁靶、鈦靶、鉭靶、銅靶以及各種超高純金屬合金靶材等，這些產(chǎn)品主要應用于超大規(guī)模集成電路芯片、液晶面板、薄膜太陽能電池制造的物理氣相沉積(PVD)工藝，用于制備電子薄膜材料。
2022年半年報中，江豐電子介紹，經(jīng)過多年的技術(shù)研究與突破，公司的高純金屬濺射靶材在技術(shù)門檻最高的半導體領域已具備一定國際競爭力，公司產(chǎn)品成功打入5nm先端技術(shù)，成為臺積電、中芯國際、SK海力士、聯(lián)華電子等全球知名芯片制造企業(yè)的核心供應商。
具體來看，在超大規(guī)模集成電路芯片中，超高純鈦是被廣泛應用的阻擋層薄膜材料之一。鈦環(huán)件則是應用于130-55nm工藝當中，與超高純鈦靶材配套使用，其主要功能是實現(xiàn)更好的薄膜性能，以達到更高的集成度要求。
目前，在先端的銅制程超大規(guī)模集成電路芯片中，超高純鉭是阻擋層薄膜材料。鉭靶材及環(huán)件是在90-5nm的先進制程中必需的阻擋層薄膜材料，因為應用在最尖端的芯片制造工藝當中，鉭靶材及環(huán)件是靶材制造技術(shù)難度最高、品質(zhì)一致性要求最高的尖端產(chǎn)品。
之前，用于先端制程的鉭靶材及環(huán)件僅有美國和日本的少數(shù)幾家跨國公司能夠生產(chǎn)。特別是鉭環(huán)件生產(chǎn)技術(shù)要求極高，目前只有江豐電子、霍尼韋爾、日礦掌握了生產(chǎn)此產(chǎn)品的核心技術(shù)。
近年來，隨著高端芯片需求的爆炸式增長，鉭靶材及環(huán)件的需求大幅增長，全球供應鏈極其緊張。目前，公司生產(chǎn)的鉭靶材及環(huán)件主要用于超大規(guī)模集成電路領域。
超高純鉭靶收入增41.79%
不僅如此，超高純銅及銅錳、銅鋁合金靶材是目前使用最為廣泛的先端半導體導電層薄膜材料之一。
在其應用領域中，超大規(guī)模集成電路芯片的制造對濺射靶材金屬純度的要求最高，通常要求達到99.9999%(6N)以上，平板顯示器、太陽能電池用銅靶的金屬純度略低，分別要求達到99.999%(5N)、99.995%(4N5)以上。銅及銅合金作為導電層通常用于90-3nm技術(shù)節(jié)點的先端芯片中。
特別是銅錳合金靶材制造難度高，目前只有江豐電子、霍尼韋爾、日礦掌握了生產(chǎn)此產(chǎn)品的核心技術(shù)。
江豐電子表示，近年來隨著高端芯片需求的爆炸式增長，銅錳合金靶材的需求大幅增長，全球供應鏈極其緊張。公司生產(chǎn)的銅及銅合金靶主要用于超大規(guī)模集成電路芯片和平板顯示器制造領域。
攻克了技術(shù)難題，江豐電子的業(yè)績增長也“順理成章”。
2022年上半年，江豐電子實現(xiàn)營業(yè)收入10.86億元，較上年同期增加50.18%;歸屬于上市公司股東的扣除非經(jīng)常性損益后的凈利潤1.13億元，同比增長181.49%;歸屬上市公司股東凈利潤1.55億元，同比增長156.24%。
其中，江豐電子超高純金屬濺射靶材業(yè)務穩(wěn)步提升，超高純鉭靶實現(xiàn)銷售收入3.4億元，同比增長41.79%;超高純鋁靶實現(xiàn)銷售收入1.72億元，同比增長35.21%;超高純鈦靶實現(xiàn)銷售收入1.47億元，同比增長49.47%。
江豐電子表示，2022年上半年，公司先端制程的超高純金屬濺射靶材的海外銷量持續(xù)增加，同時隨著國內(nèi)加大對12英寸工廠建設的投資力度，公司的靶材產(chǎn)品作為Baseline直接導入，國內(nèi)的先端制程靶材銷售也有明顯增長。
值得一提的是，江豐電子的產(chǎn)品研發(fā)與技術(shù)創(chuàng)新能力在同行業(yè)居領先地位。2022年上半年，公司持續(xù)加大技術(shù)研發(fā)和新品開發(fā)，研發(fā)投入5992.72萬元，較上年同期增加1482.02萬元，增長32.86%，占營業(yè)收入的5.52%。
2022年上半年，江豐電子及子公司共取得36項發(fā)明專利、27項實用新型專利。截至2022年6月30日，公司及子公司共取得境內(nèi)有效授權(quán)專利527項，包括發(fā)明專利308項，實用新型專利219項。
江豐電子表示，公司持之以恒地加大研發(fā)投入，從生產(chǎn)裝備的設計定制到原材料的自主可控，已經(jīng)建立了完備的供應鏈體系，擁有完整自主知識產(chǎn)權(quán)，硬核實力不斷增強，為公司業(yè)務發(fā)展打下了堅實的技術(shù)基礎。
